如今新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展也進(jìn)一步顯示半導(dǎo)體檢測(cè)的重要性。隨著通信速度的加快,對(duì)基帶和射頻前端都帶來了挑戰(zhàn)。由于需要支持很多的模式,射頻前端也將集成的模塊如功率放大器,低噪聲放大器(LNA),雙工器和天線開關(guān)等,并將其封裝在單個(gè)組件中。在設(shè)計(jì)及生產(chǎn)過程中,檢測(cè)就變得很重要。只有準(zhǔn)確測(cè)量組件的各個(gè)參數(shù),才能相應(yīng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)方案,及提升產(chǎn)品生產(chǎn)成功率。
對(duì)于
半導(dǎo)體檢測(cè)而言,雖然在批量生產(chǎn)、實(shí)驗(yàn)室、晶圓等環(huán)節(jié)都需要用到,相關(guān)環(huán)節(jié)也比較復(fù)雜,但是電性能測(cè)試則是為基本的環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體器件或模組,在研發(fā)、設(shè)計(jì)及生產(chǎn)過程中,都少不了這個(gè)環(huán)節(jié)。
在電性能測(cè)試環(huán)節(jié),目前測(cè)試方案就是源測(cè)量單元(SMU)。SMU是一種精密電源儀器,具備電壓輸出和測(cè)量以及電流輸出和測(cè)量功能。這種對(duì)電壓和電流的控制使您可以靈活地通過歐姆定律計(jì)算電阻和功率??赏瑫r(shí)控制與量測(cè)電壓、電流,主要為消費(fèi)性電子產(chǎn)品、IC設(shè)計(jì)與驗(yàn)證等實(shí)驗(yàn)室提供電性能測(cè)試。
目前,市場(chǎng)上能夠提供源測(cè)量單元(SMU)廠商也不少,相關(guān)產(chǎn)品也有很多。然而,并不是測(cè)試儀器越昂貴,測(cè)試準(zhǔn)確性就越高。想要意義上掌握源測(cè)量單元(SMU),要先清楚誤差產(chǎn)生的原因,以及減小誤差的途徑。