淺談半導(dǎo)體檢測中不可少是什么?

           半導(dǎo)體工業(yè)涵蓋各樣的應(yīng)用,從PC到移動設(shè)備的處理器和存儲器,從集成電路到太陽能電池。在半導(dǎo)體工業(yè)中,紅外線工業(yè)相機(jī)可以用來檢測純半導(dǎo)體材料的質(zhì)量。此外,切割成晶片的硅錠和晶片成品,也可以用類似的方法檢測缺陷或裂紋,然后將晶片加工成光電子元器件或其他半導(dǎo)體器件。在切割晶圓成為單芯片的加工過程中,對于鋸片和激光校準(zhǔn)來說,紅外線工業(yè)相機(jī)依舊是目前應(yīng)用的主流方案。為了進(jìn)行失效分析,裝配好的集成電路要進(jìn)行裂紋或光刻檢測,整個生產(chǎn)流程中都需要進(jìn)行檢測,而在這些應(yīng)用中,都少不了紅外線相機(jī)的身影。
           “透明”的硅錠
           使用一臺紅外線相機(jī),配合發(fā)射波長在1150nm波段的光源,很輕易的就可以進(jìn)行硅錠或硅磚的內(nèi)部雜志和結(jié)構(gòu)的檢測。
           這是因為這種半導(dǎo)體材料不吸收能量低、相對波長較長的短波紅外光子,而可見光光子則因具有較高的能量和相對較短的波長被材料吸收,無法透過。
           使用紅外線相機(jī)成為了半導(dǎo)體檢測的優(yōu)良檢測工具,可以直接檢測缺陷、雜質(zhì)、孔洞或夾雜。
           當(dāng)硅錠進(jìn)一步加工成為晶片時,硅錠中的雜質(zhì)會對生產(chǎn)設(shè)備造成損害。
           通過紅外線相機(jī)的檢測,則可以規(guī)避類似的問題,從而保障生產(chǎn)效率。
           “看穿”晶圓內(nèi)部
           晶圓制造的過程中,細(xì)顆?;蛄鸭y等缺陷可能隱匿于晶片內(nèi)或晶片之間,而可見光CCD或CMOS相機(jī)能夠檢測晶片表面的缺陷,不論晶片顆粒,還是晶片間縫隙,亦或是其他缺陷。
           封裝前的模具檢測也是通過紅外線相機(jī)進(jìn)行的,比如晶圓切割過程中造成的,隱藏在硅材料內(nèi)的細(xì)小裂紋。
           紅外線相機(jī)能夠增加產(chǎn)能和效能,例如封裝檢測、設(shè)備缺陷檢測、臨界尺寸和封裝測試。
           在晶圓封裝過程中,對于晶元制造和封裝技能,紅外線相機(jī)可以實現(xiàn)多層的質(zhì)量評價。
           “發(fā)光”的太陽能電池
           太陽能電池裂紋檢測,太陽能電池光電轉(zhuǎn)換效率檢測,通?;诎l(fā)光效應(yīng),即電子從激發(fā)態(tài)過渡到穩(wěn)定狀態(tài)時半導(dǎo)體材料的光發(fā)射。多余的能量會被轉(zhuǎn)化為光子發(fā)射出去,它們的波長取決于太陽能電池材料的帶隙。對于使用硅材料的太陽能電池來說,這個帶隙能量對應(yīng)的波長大約在1150nm。但是如果硅材料中含有一些缺陷,則光發(fā)射的能量峰值會發(fā)生變化,帶隙可能會在1300~1600nm之間。其他材料例如銅銦鎵硒(CIGS)或二銅銦二硒(CIS)也可以用于太陽能電池的生產(chǎn)。對于這些材料,光發(fā)射波長都在1300nm以上。
           在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,盡早發(fā)現(xiàn)裂紋和微裂紋已經(jīng)變得重要。易碎的半導(dǎo)體材料中如果存在裂紋,會導(dǎo)致單個太陽能電池破損,生產(chǎn)機(jī)器停機(jī),且清理困難。
           在線裂紋檢測儀器已經(jīng)成為太陽能電池標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)線的一部分。然而,晶體硅晶片,主要是多晶硅的自動光學(xué)探傷,依然是一項具有挑戰(zhàn)性的工作。
2020/09/23 13:49:17 2644 次

手???機(jī):18036862869

電???話:0510-85388506

郵???箱:hkt@hanketest.com

網(wǎng)???址:mside.cn

地???址:江蘇省無錫市新吳區(qū)景賢路52號

掃碼關(guān)注手機(jī)站
掃碼關(guān)注公眾號

服務(wù)熱線

18036862869

歡迎微信咨詢