談談如何進行半導體檢測
對于半導體檢測而言,雖然在批量生產(chǎn)、實驗室、晶圓等環(huán)節(jié)都需要用到,相關環(huán)節(jié)也比較復雜,但是電性能測試則是較為基本的環(huán)節(jié)。半導體器件或模組,在研發(fā)、設計及生產(chǎn)過程中,都免不了這一環(huán)節(jié)。
在
半導體檢測電性能測試環(huán)節(jié),目前的測試方案就是源測量單元。SMU是一種精密電源儀器,具備電壓輸出和測量以及電流輸出和測量功能。這種對電壓和電流的控制使得可以靈活地通過歐姆定律計算電阻和功率??赏瑫r控制與量測精度高的電壓、電流,為消費性電子產(chǎn)品、IC設計與驗證、學術等實驗室提供電性能測試。
對于半導體芯片而言,半導體檢測儀器參數(shù)的微小調(diào)整就有可能產(chǎn)生不同的結果。因此需要熟悉源測量單元實用指南,針對測量精度、測量速度、電線電阻消除、偏移電壓補償、外部噪聲、避免電流泄露以及校準等環(huán)節(jié)的具體說明。